1、接触式测量方法
使用平尺和塞尺测量：这是一种比较简单直观的方法。将平尺放置在
东莞大型CNC加工零件的被测表面上，平尺的精度应高于被测零件的精度要求。然后用塞尺测量平尺与零件表面之间的间隙，通过在不同位置测量，得到表面平整度的大致情况。例如，对于精度要求不是特别高的大型钢结构件，可以采用这种方法初步判断其平面度是否符合要求。不过这种方法的测量精度有限，一般适用于精度要求较低（平面度公差大于 0.1mm）的场合。
使用水平仪测量：水平仪是一种常用的测量仪器。将水平仪放在零件表面，通过观察水平仪中的气泡位置来确定表面的平整度。可以采用打方格的方式，在零件表面划分多个测量区域，逐点测量并记录数据。对于大型机床床身等零件的平面度测量较为适用。如果水平仪的精度为 0.02mm/m，当测量长度为 1m 时，能够检测出 0.02mm 的高度差，这种方法的精度相对塞尺法有所提高，适用于平面度公差在 0.02 - 0.1mm 之间的零件。
使用千分表测量：把千分表固定在合适的支架上，使表头接触零件表面。移动零件或千分表支架，使表头在零件表面逐点测量。这种方法能够精确地测量出微小的高度变化，精度可达 0.001mm。例如，在精密大型模具的加工中，使用千分表可以精确测量其表面平整度，以确保模具成型面的精度，适用于平面度公差小于 0.02mm 的高精度零件。
2、非接触式测量方法
激光干涉仪测量：激光干涉仪是一种高精度的测量设备。它利用激光的干涉原理，通过测量两束激光的光程差来确定零件表面的高度变化。在测量大型 CNC 加工零件表面平整度时，将激光干涉仪的反射镜放置在零件表面，激光束照射在反射镜上，通过分析反射光的干涉条纹变化来获取表面平整度信息。这种方法测量精度极高，可达亚微米级甚至更高，适用于航空航天、精密光学等对精度要求极高（平面度公差小于 0.001mm）的大型零件。
三维光学扫描仪测量：三维光学扫描仪通过投射光图案（如条纹光或散斑）到零件表面，然后利用相机捕捉反射光图像，基于三角测量原理计算出零件表面各点的三维坐标。将获取的三维数据进行处理，就可以得到零件表面的平整度信息。这种方法的优点是测量速度快、范围大，能够获取整个零件表面的三维数据，对于大型复杂形状的零件表面平整度测量很有优势。不过其精度相对激光干涉仪稍低，一般平面度精度可达 0.01 - 0.1mm 左右，适用于汽车车身、大型雕塑等大型零件的表面平整度测量。
